Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.13.07 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Шестопалов, М. Ю. (род. 1962) |
| Publicado: | СПб. , 1995 |
| Descripción Física: |
16с.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||