Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.13.07 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Шестопалов, М. Ю. (род. 1962) |
| Published: | СПб. , 1995 |
| Physical Description: |
16с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||