
Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.13.07 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Шестопалов, М. Ю. (род. 1962) |
Veröffentlicht: | СПб. , 1995 |
Beschreibung: |
16с.
|
Sprache: | Русский |
Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|