Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: 05.13.07 / Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Шестопалов, М. Ю. (род. 1962) |
| Апублікавана: | СПб. , 1995 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
16с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||