|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br145153 |
| 005 |
20230209071828.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1995 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка моделей и алгоритмов управления технологическим процессом нанесения пленок в вакууме
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук
$e 05.13.07
$f Санкт-Петербург.гос.электротехн.ун-т им.В.И.Ульянова
|
| 210 |
# |
# |
$a СПб.
$d 1995
|
| 215 |
# |
# |
$a 16с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.:c.14-16(13 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4853
$a ВАКУУМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4854
$a ВАКУУМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2667262
$a АЛГОРИТМЫ УПРАВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2667263
$a АЛГАРЫТМЫ КІРАВАННЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Нанесение пленок
|
| 610 |
0 |
# |
$a нанясенне плевак
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.47.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14397067
$a Шестопалов
$b М. Ю.
$g Михаил Юрьевич
$c доктор технических наук
$f род. 1962
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
