Плазменные, электрохимические и термические методы создания элементов сверхпроводниковой микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника / Лыньков Леонид Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лыньков, Л. М. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Минск , 1994 |
| Физические характеристики: |
34 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||