Плазменные, электрохимические и термические методы создания элементов сверхпроводниковой микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника / Лыньков Леонид Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад3343, 2Н//180408(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Лыньков, Л. М. (род. 1949)
Опубликовано: Минск , 1994
Физические характеристики: 34 с.
Язык: Русский
Предмет:
КРИОЭЛЕКТРОНИКА
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
СВЕРХПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br142094
005 20220414180023.0
100 # # $a 19930101d1994 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Плазменные, электрохимические и термические методы создания элементов сверхпроводниковой микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, микроэлектроника  $f Лыньков Леонид Михайлович  $g Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Минск  $d 1994 
215 # # $a 34 с. 
320 # # $a Библиография: с. 28—34 (79 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23655  $a ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29266  $a СВЕРХПРОВОДНИКОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33558  $a ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39302  $a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar79621  $a КРИОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1-973-027.3:621.7/.9(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 47.13.08  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.01  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.21.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.01  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar2440898  $a Лыньков  $b Л. М.  $g Леонид Михайлович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar186905  $a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники  $c Минск  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19930101  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br142094&fileID=405065 

Схожие документы