|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br138070 |
| 005 |
20210810100531.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 985-444-036-2
|
| 100 |
# |
# |
$a 19991102d1999 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Субмикронная литография
$f Л. М. Лыньков, С. Л. Прищепа
$g Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Научно-исследовательская часть
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c БГУИР
$d 1999
|
| 215 |
# |
# |
$a 205 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 197―205 (158 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 110 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29252
$a СВЕРХПРОВОДНИКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45118
$a НАНАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29253
$a ЗВЫШПРАВАДНІКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611433
$a СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1611436
$a СУБМІКРОННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002:763
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2440898
$a Лыньков
$b Л. М.
$g Леонид Михайлович
$c доктор технических наук
$f род. 1949
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-354388
$a Прищепа
$b С. Л.
$g Сергей Леонидович
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1956
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19991102
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
