Технология многослойных структур для микроэлектроники: Разд.: Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок: Курс лекций для студентов спец.20.02 / В. В. Овчинников, А. С. Тимошин, В. В. Крапухин
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Овчинников, В. В. |
| Апублікавана: | М. , 1992 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
88 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||