
Deep ion implantation: Advantages and current problems
Enregistré dans:
Format: | |
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Auteur principal: | Slowinski, B. |
Publié: | Dubna : The Joint Inst. for Nuclear Research , 1998 |
Description matérielle: |
4 p.
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Langue: | Английский |
Collection: |
Prepr.
E14-98-379 ) |
Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
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