Литография в производстве интегральных микросхем: учебное пособие для профессионально-технических училищ профессии электронной техники / Ю. А. Родионов
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Родионов, Ю. А. |
| Published: | Минск : Дизайн ПРО , 1998 |
| Physical Description: |
95, [1] с. : ил., табл. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 3 , available: 3 | Available Place a Hold | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||