Разработка аппаратуры и методов ионно-пучкового травления для получения высокоточных элементов рентгеновской оптики: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.2

Сохранено в:
Шифр документа: 2//261644(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Михайленко, М. С.
Опубликовано: Нижний Новгород , 2024
Физические характеристики: 19 с.
Язык: Русский