|
|
|
|
|
00000cam0a22000003ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001958679 |
| 005 |
20250123114445.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-985-7267-34-7
$b в переплете
|
| 100 |
# |
# |
$a 20241212d2024 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технологические аспекты производства изделий субмикронной электроники
$f В. В. Буслюк, А. Э. Видрицкий, Д. А. Голосов [и др.]
$g под редакцией В. Л. Ланина
$g Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$c Бестпринт
$d 2024
|
| 215 |
# |
# |
$a 268 с.
$c ил., цв. ил., табл.
$d 21 см
|
| 304 |
# |
# |
$a Авторы указаны на обороте титульного листа и перед выпускными данными
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце глав
|
| 345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1657703
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar10484490
$a КМОП-СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13918071
$a Буслюк
$b В. В.
$g Виктор Вячеславович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14889002
$a Видрицкий
$b А. Э.
$g Александр Эдуардович
$c физик
$c инженер
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637559
$a Голосов
$b Д. А.
$g Дмитрий Анатольевич
$c кандидат технических наук
$f род. 1971
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14889094
$a Емельянов
$b В. В.
$g Виктор Викторович
$c физик
$c электронная техника
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637712
$a Ланин
$b В. Л.
$g Владимир Леонидович
$c доктор технических наук, электроника
$f род. 1948
$4 340
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-br4883719
$a Мадвейко
$b С. И.
$g Сергей Игоревич
$c кандидат технических наук
$f род. 1984
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar1998334
$a Петухов
$b И. Б.
$g Игорь Борисович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-661970
$a Соловьев
$b Я. А.
$g Ярослав Александрович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-375809
$a Телеш
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14889325
$a Юник
$b А. Д.
$g Андрей Дмитриевич
$c электронная техника
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 475
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20241212
$g RCR
|
