Влияние ионной бомбардировки на структуру и электрические свойства тонких пленок металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.2

Сохранено в:
Шифр документа: 2//260632(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Селюков, Р. В.
Опубликовано: Ярославль , 2024
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000003ia4500
001 BY-NLB-br0001953623
005 20241223113029.0
100 # # $a 20241120d2024 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a ||||m 00|yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Влияние ионной бомбардировки на структуру и электрические свойства тонких пленок металлов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 2.2.2 
210 # # $a Ярославль  $d 2024 
215 # # $a 25 с. 
320 # # $a Библиография: с. 22―25 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4631320  $a ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar53274  $a АРГОН  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1603641  $a ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННАЯ ПЛАЗМА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar46073  $a ПЛАТИНА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34004  $a ТИТАН (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1800903  $a СТРУКТУРА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38854  $a ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1599505  $a УДЕЛЬНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 2.2.2  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.21  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $a Селюков  $b Р. В.  $g Роман Вячеславович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20241120  $g RCR