Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемые в полупроводниковой технике / Ю. В. Грановский
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Грановский, Ю. В. (род. 1933) |
| Апублікавана: | Москва : [Отдел научно-технической информации] , 1960 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
74 с. : ил., табл. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Информация
1 (12) |
| Прадмет: |
1960, №1: Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемые...
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||