IPAT-85: special conference issue: the fifth International Conference on Ion and Plasma Assisted Techniques, Munich, FRG, 13―15 May 1985
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | [S. l. : s. n. , 1986] |
| Физические характеристики: |
12, 205 с. : іл. ; 29 см
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
Vacuum
vol. 36, № 1/3 |
Загрузка