Проблемы субмикронной технологии: [сборник статей] / ответственный редактор А. А. Орликовский
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 1993 |
| Физические характеристики: |
111, [2] с. : ил. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
т. 6 |
Загрузка