|
|
|
|
|
00000nam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001900829 |
| 005 |
20240228083006.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20240228d1993 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проблемы субмикронной технологии
$e [сборник статей]
$f ответственный редактор А. А. Орликовский
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Наука
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 111, [2] с.
$c ил.
$d 24 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Труды ФТИАН
$f Российская академия наук, Физико-технологический институт
$v т. 6
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br59880
$1 2001
$v Т. 6
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar390261
$a Орликовский
$b А. А.
$g Александр Александрович
$c доктор технических наук
$f 1938—2016
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$3 BY-SEK-ar9947005
$a Физико-технологический институт
$c Москва
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20240228
$g RCR
|
