|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001889779 |
| 005 |
20240321091822.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20240119d2024 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка основ практического применения высокомощного импульсного магнетронного распыления для осаждения пленок металлов и их соединений
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
$f Карзин Виталий Валерьевич
$g [место защиты: Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2024
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 19—22
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777100
$a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35859
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.3
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.19
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14632329
$a Карзин
$b В. В.
$g Виталий Валерьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20240119
$g RCR
|
