|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001834815 |
| 005 |
20230614133946.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20230420d2023 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a z 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Осаждение пленок металлов методом ионного распыления в магнетронных системах в парах мишени для миниатюрных термоэлектрических модулей
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники
$f Назаренко Мария Владимировна
$g МИРЭА – Российский технологический университет
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2023
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25—28
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2397439
$a ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МОДУЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12174
$a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4777101
$a МАГНЕТРОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.29
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 2.2.3.
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14441442
$a Назаренко
$b М. В.
$g Мария Владимировна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20230420
$g RCR
|
