Технология оборудования, приборов и измерительных устройств микроэлектроники: [сборник статей / научный редактор Е. К. Ковшиков]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники , 1976 |
| Физические характеристики: |
223 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
вып. 23 |
Загрузка