|
|
|
|
|
00000cam2a22000003ij4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001768518 |
| 005 |
20220516160919.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В переплете
$d 75 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20220516d1976 |||y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a|||||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология оборудования, приборов и измерительных устройств микроэлектроники
$e [сборник статей
$f научный редактор Е. К. Ковшиков]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Московский институт электронной техники
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 223 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
$f Министерство высшего и среднего специального образования СССР, Московский институт электронной техники
$v вып. 23
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000566840
$1 2001
$v Вып. 23
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ковшиков
$b Е. К.
$g Евгений Константинович
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220516
$g RCR
|
