|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001736872 |
| 005 |
20220215150634.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20211209d2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Шишлянников Антон Валерьевич
$g Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" (АО "НИИМЭ")
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2021
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с., включая обложку
$c цв. ил..
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 23 (5 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar45117
$a НАНОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2793337
$a ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790887
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2790912
$a РЕЗИСТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5611725
$a ЭФФЕКТ БЛИЗОСТИ (электромагнетизм)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27299
$a РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2496
$a АНИЗОТРОПИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14128491
$a Шишлянников
$b А. В.
$g Антон Валерьевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20211209
$g RCR
|
