Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Нгуен Динь Туен |
| Veröffentlicht: | Минск , 2021 |
| Beschreibung: |
20 с. : ил., табл.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||