Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Нгуен Динь Туен |
| Апублікавана: | Минск , 2021 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с. : ил., табл.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||