Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Нгуен Динь Туен

Enregistré dans:
Шифр документа: 2Н//242282(039), 2Н//242383(039),
Format: Авторефераты диссертаций
Auteur principal: Нгуен Динь Туен
Publié: Минск , 2021
Description matérielle: 20 с. : ил., табл.
Langue: Русский
Sujets:
ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
ИНФРАКРАСНАЯ ТЕХНИКА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ОКСИДЫ ВАНАДИЯ
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Accès en ligne: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001727585
005 20220622142423.0
100 # # $a 20211027d2021 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus  $d bel  $d rus  $d eng 
102 # # $a BY 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование пленок оксида ванадия для неохлаждаемых приемников инфракрасного излучения реактивным магнетронным распылением  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Нгуен Динь Туен  $g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники" 
210 # # $a Минск  $d 2021 
215 # # $a 20 с.  $c ил., табл. 
300 # # $a Резюме параллельно на белорусском, русском и английском языках 
311 # # $a В фонде НББ имеется диссертация 
320 # # $a Библиография: с. 17 (7 назв.) 
488 # 1 $1 001BY-NLB-br0001774385 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39182  $a ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12136  $a ИНФРАКРАСНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2847095  $a ОКСИДЫ ВАНАДИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777100  $a МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2644768  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39284  $a ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.384.3-027.3:621.793.7(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.57  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 nsnrrb 
700 # 0 $3 BY-SEK-ar14096742  $a Нгуен Динь Туен  $c кандидат технических наук, радиоэлектроника 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20211027  $g RCR 
830 # # $a 25.11.2021 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br0001727585&fileID=9270743 

Documents similaires