Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Вилья Пинеда, Н. А. |
| 出版: | Минск , 2020 |
| 實物描述: |
156 л. : ил., табл.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: | |
| 在線閱讀: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||