Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Вилья Пинеда, Н. А. |
| Publié: | Минск , 2020 |
| Description matérielle: |
156 л. : ил., табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||