Формирование тонкопленочных изолирующих слоев с высокой диэлектрической проницаемостью для интегральных МДП структур реактивным магнетронным распылением: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Вилья Пинеда Номар Альберто
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Вилья Пинеда, Н. А. |
| Published: | Минск , 2020 |
| Physical Description: |
156 л. : ил., табл.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
Зал диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Without order | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||