|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001615479 |
| 005 |
20200617143544.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20200310d2019 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологических основ создания кремний-углеродных пленок для сенсоров газов и электродов электрохимических конденсаторов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Химическая, биологическая и бактериологическая безопасность
$f Григорьев Михаил Николаевич
$g [Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения]
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2019
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23 (12 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2689509
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЕ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39112
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2136083
$a КОНДЕНСАТОРЫ (электротехн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29804
$a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar38934
$a ЭЛЕКТРОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar27499
$a РАСТВОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1791918
$a ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.31.59
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2446956
$a Григорьев
$b М. Н.
$g Михаил Николаевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20200310
$g RCR
|
