Разработка методики расчета и проектирования упругого элемента тензодатчика на структуре "кремний на сапфире": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.02.06 Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры / Скворцов Павел Аркадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//231423(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Скворцов, П. А.
Опубликовано: Москва , 2019
Физические характеристики: 24 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001592816
005 20200227191331.0
100 # # $a 20191122d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка методики расчета и проектирования упругого элемента тензодатчика на структуре "кремний на сапфире"  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.02.06 Динамика, прочность машин, приборов и аппаратуры  $f Скворцов Павел Аркадьевич  $g [Московский политехнический университет] 
210 # # $a Москва  $d 2019 
215 # # $a 24 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 23—24 (10 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33306  $a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24616  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5961785  $a КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ-СТРУКТУРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar59559  $a МНОГОКРИТЕРИАЛЬНАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12014  $a ИНТЕРФЕЙСЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
610 0 # $a упругие элементы 
610 0 # $a пругкія элементы 
686 # # $a 01.02.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13642972  $a Скворцов  $b П. А.  $g Павел Аркадьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20191122  $g RCR