|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001552404 |
005 |
20190919200225.0 |
100 |
# |
# |
$a 20190515d2018 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Эннс Яков Борисович
$g [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого]
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2018
|
215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17—18 (18 назв.)
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20258
$a НЕЛИНЕЙНЫЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4773219
$a ПОТЕРЯ УСТОЙЧИВОСТИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60038
$a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2465299
$a ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3321655
$a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
610 |
0 |
# |
$a упругие элементы
|
610 |
0 |
# |
$a пругкія элементы
|
686 |
# |
# |
$a 47.03.05
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.14.07
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 30.19.23
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar13516849
$a Эннс
$b Я. Б.
$g Яков Борисович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20190515
$g RCR
|