Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Эннс Яков Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//227791(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Эннс, Я. Б.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2018
Физические характеристики: 18 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001552404
005 20190919200225.0
100 # # $a 20190515d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Эннс Яков Борисович  $g [Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2018 
215 # # $a 18 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17—18 (18 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20258  $a НЕЛИНЕЙНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4773219  $a ПОТЕРЯ УСТОЙЧИВОСТИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2465299  $a ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3321655  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33866  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ  $2 DVNLB 
610 0 # $a упругие элементы 
610 0 # $a пругкія элементы 
686 # # $a 47.03.05  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 30.19.23  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13516849  $a Эннс  $b Я. Б.  $g Яков Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190515  $g RCR