Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем: обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1963―1966 гг. / составитель Л. В. Попова

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Опубликовано: Москва : Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации , 1967
Физические характеристики: 15, [14] с. : ил., схемы, табл. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры научно-технической литературы по электронной технике № 22
00000nam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001548451
005 20190425105623.0
100 # # $a 20190425d1967 |||y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a SU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Способы изготовления металлических масок для напыления тонкопленочных схем  $e обзор по материалам отечественной и зарубежной печати за 1963―1966 гг.  $f составитель Л. В. Попова  $g [редактор Л. В. Храпко] 
210 # # $a Москва  $c Центральный научно-исследовательский институт технико-экономических исследований и научной инфрормации  $d 1967 
215 # # $a 15, [14] с.  $c ил., схемы, табл.  $d 20 см 
225 1 # $a Обзоры научно-технической литературы по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v № 22 
320 # # $a Библиография: с. 15―16 (32 назв.) 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br456183  $1 2001   $v № 22 
702 # 1 $a Попова  $b Л. В.  $4 220 
702 # 1 $a Храпко  $b Л. В.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20190425  $g RCR