Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок / И. Г. Блинов [и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Блинов, И. Г. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1969 |
| Физические характеристики: |
108 с., [1] л. табл. : ил. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Справочные материалы по электронной технике
вып. 1 (7) |
Загрузка