Базовые технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие: для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов

Сохранено в:
Шифр документа: 1//750666(039),
Вид документа: Книги
Автор: Воротынцев, В. М.
Опубликовано: Москва : Проспект , 2018
Физические характеристики: 519 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br0001504728
005 20200120120523.0
010 # # $a 978-5-392-28208-1 
100 # # $a 20181105d2018 f y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Базовые технологии микро- и наноэлектроники  $e учебное пособие  $e для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"  $f В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов 
210 # # $a Москва  $c Проспект  $d 2018 
215 # # $a 519 с.  $c ил.  $d 21 см 
320 # # $a Библиография в конце глав 
345 # # $9 50 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7358508  $a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33874  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.38-022.532-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar4892508  $a Воротынцев  $b В. М.  $g Владимир Михайлович  $c доктор химических наук 
701 # 1 $3 BY-RLST-ar775411  $a Скупов  $b В. Д.  $g Владимир Дмитриевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20181105  $g RCR 

Схожие документы