Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Шипилова Анна Викторовна
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Шипилова, А. В. |
| Publié: | Томск , 2018 |
| Description matérielle: |
22 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||