Структура и свойства тонких пленок ZrO2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Шипилова Анна Викторовна
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Шипилова, А. В. |
| Published: | Томск , 2018 |
| Physical Description: |
22 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||