Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Сиделев Дмитрий Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//222793(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сиделев, Д. В.
Опубликовано: Томск , 2018
Физические характеристики: 22 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001499098
005 20181204154028.0
100 # # $a 20181017d2018 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния  $f Сиделев Дмитрий Владимирович  $g [Национальный исследовательский Томский политехнический университет] 
210 # # $a Томск  $d 2018 
215 # # $a 22 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 22 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar17968  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37119  $a ХРОМ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20786  $a НИКЕЛЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4777101  $a МАГНЕТРОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.22.19  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.20.15  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar13361895  $a Сиделев  $b Д. В.  $g Дмитрий Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20181017  $g RCR