Кремниевые эпитаксиальные пленки: (по материалам отечественных и зарубежных источников за 1970―1981 гг.) / [А. М. Полянский]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Полянский, А. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
40 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 9 |
Загрузка