Физико-химические основы оптимизации параметров герметизации полимерными материалами в производстве интегральных схем и полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / В. С. Сотников, В. А. Будков, Б. А. Астапов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сотников, В. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Физические характеристики: |
56, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 4 |
Загрузка