|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001480063 |
| 005 |
20180628101125.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180628d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Влияние термических операций на характеристики кремния
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1958―1983 гг.)
$f А. Ф. Волков, Н. А. Зайцев, М. В. Суровиков
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 48, [1] с., включая обложку
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 6
$i Материалы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1983, вып. 10
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 41―49 (110 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1560 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78456
$1 2001
$v 1983, вып. 10
|
| 700 |
# |
1 |
$a Волков
$b А. Ф.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Зайцев
$b Н. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Суровиков
$b М. В.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180628
$g psbo
|
