|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001480039 |
| 005 |
20180628094018.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180628d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 2
$i Кремниевые эпитаксиальные структуры
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1984 гг.)
$f Л. С. Гликин, В. В. Зотов, Е. А. Королева
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1984
|
| 215 |
# |
# |
$a 40, [1] с., включая обложку
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 6
$i Материалы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1984, вып. 9
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 35―41 (93 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1580 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78456
$1 2001
$v 1984, вып. 9
|
| 700 |
# |
1 |
$a Гликин
$b Л. С.
$g Лев Семенович
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar10416790
$a Зотов
$b В. В.
$g Владимир Викторович
$c кандидат технических наук, машиностроение
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180628
$g psbo
|
