Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности полупроводников: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1975 гг.) / [О. Л. Вестфаль, А. Т. Мягков]
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Вестфаль, О. Л. |
| Publié: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Description matérielle: |
34, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
1976, Вып.9: Методы и средства контроля чистоты и качества поверхности...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||