|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001468083 |
| 005 |
20180507110052.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180507d1973 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Получение эпитаксиальных пленок кремния в вакууме и их свойства
$f В. Н. Черняев, Л. В. Кожитов, А. В. Попов
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1973
|
| 215 |
# |
# |
$a 71, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Материалы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1973, вып. 5
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 66―72 (94 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1350 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78456
$1 2001
$v 1973, вып. 5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Черняев
$b В. Н.
$g Владимир Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кожитов
$b Л. В.
$g Лев Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-147208
$a Попов
$b А. В.
$g Анатолий Васильевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180507
$g psbo
|
