Новые применения лучистой энергии в микроэлектронике. Ч. 3: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1986 гг.) / В. В. Зотов, В. Н. Стаценко
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Зотов, В. В. (род. 1934) |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1986 |
Физические характеристики: |
38, [1] с., включая обложку : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1986, вып. 9 |
Загрузка