Осаждение силицидов тугоплавких металлов из газовой фазы, их свойства и состав: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1986 гг.) / И. А. Голод, С. Ф. Девятова, В. Г. Ерков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Голод, И. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Физические характеристики: |
52 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 15 |
Загрузка