Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1957―1988 гг.) / А. Н. Семенченко, Ю. П. Райнова, Ю. Д. Чистяков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Семенченко, А. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
| Физические характеристики: |
45, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 8 |
Загрузка