|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467741 |
| 005 |
20180504144852.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180504d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Тенденции развития оборудования для газофазной эпитаксии кремния
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1957―1988 гг.)
$f А. Н. Семенченко, Ю. П. Райнова, Ю. Д. Чистяков
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 45, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1989, вып. 8
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 42―46 (81 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1646 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1989, вып. 8
|
| 700 |
# |
1 |
$a Семенченко
$b А. Н.
$g Александр Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar451558
$a Райнова
$b Ю. П.
$g Юлия Петровна
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar451557
$a Чистяков
$b Ю. Д.
$g Юрий Дмитриевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180504
$g psbo
|
