Радиационно-стимулированная диффузия примесей в полупроводниках / В. В. Козловский, В. Н. Ломасов

Сохранено в:
Шифр документа: 194447-9,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Козловский, В. В. (род. 1955)
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985
Физические характеристики: 56 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1985, вып. 9
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001467171
005 20180503133404.0
100 # # $a 20180503d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Радиационно-стимулированная диффузия примесей в полупроводниках  $f В. В. Козловский, В. Н. Ломасов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1985 
215 # # $a 56 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 7  $i Технология, организация производства и оборудование  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1985, вып. 9 
320 # # $a Библиография: с. 45―56 (146 назв.) 
345 # # $a 1910 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br119311  $1 2001   $v 1985, вып. 9 
700 # 1 $3 BY-SEK-223158  $a Козловский  $b В. В.  $g Виталий Владимирович  $c доктор экономических наук  $f род. 1955 
701 # 1 $a Ломасов  $b В. Н. 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20180503  $g psbo