Электронная литография: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973―1985 гг.) / В. К. Попов, С. Н. Ячменев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. К. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
51 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 19 |
Загрузка